一、主要技术要求： 1、真空度指标： 1.1、保证真空室极限真空度≤7.0×10-5Pa。 1.2、系统漏率：≤5.0×10-8PaL/S。 1.3、真空抽气机组：采用分子泵作为主抽泵，机械泵作为前级泵，配有真空计、阀门以及管道，组成真空抽气系统。 2、真空室系统 3、蒸发源及电源系统 4、样品台系统 5、冷却循环水系统 6、电控系统 7、安全防护系统 7.1、系统带有真空连锁保护以及报警功能； 7.2、装置带有防误操作安全保护功能。