一、组成及功能介绍 由沈阳腾鳌真空技术有限公司生产的TAZKSJL-1100型真空管式炉，设备主要由抽气系统、石英管组件、过渡室系统、加热炉系统、样品架系统、电控系统等组成，具有在微波基板生产过程中，进行陶瓷基板退火处理、真空烧结的功能。 二、性能指标 1、设备结构形式：卧式，单工位样品尺寸80mm×80mm×1mm，一次最大可处理100片。 2、控制方式：手动。 3、真空度指标： 3.1、主机系统空载极限真空度：6.7×10-5Pa； 3.2、真空抽速：分子泵正常工作后，系统40分钟后，真空度进入10-4Pa。 4、加热系统： 4.1、加热炉（外加热）最高加热温度：1100℃。 4.2、均温区约为Φ150mm×600mm；加热到800℃，恒温60min后，温度均匀性达到±5℃。 4.3、炉管采用石英管材料，内径尺寸约为：Φ150mm×1610mm。 5、加热方式：外加热方式对石英管进行加热。