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电子束蒸发设备
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电子束蒸发设备

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产品描述
参数

1、极限真空度优于6.7×10~Pa；

2、在2小时内从大气抽到5×10~Pa（充入干燥氮气，不打开真空室）；

3、系统漏率小于1×10*7PaL/s。

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磁控溅射涂层装置

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