产品描述
参数
一、技术指标
1、激光靶室系统漏率优于1x10~Pa*L/s;
2、压缩池系统及作用室系统与光学平台之间安装水冷板，水冷板厚度40mm;
3、压缩池系统与作用室系统通过ISO50法兰连接，两个腔体内面包板之间最小距离160mms
二、设备组成
激光靶室系统主要由真空抽气及测量系统、压缩池系统、作用室系统及辅助系统等组成。
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质谱监测真空装置试制
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