产品描述
参数
1、主体结构：
本设备主体设计为石英钟罩真空腔室结构。石英钟罩腔室底部设置不锈钢底法兰，并设置多个法兰接口，是真空抽气、系统进气、真空测量和系统压力测量等部件的安装接口。
2、系统真空度及漏率：
极限真空度：≤5×10-3 Pa；系统正压：最高0.2MPa（绝压）；系统真空漏率：优于5×10-7 Pa.L/s。
3、真空抽气及测量：
4、气路：
工艺气体一路，配置质量流量控制器、单通道质量流量计、气路截止阀和气路管、接头等。
5、样品。
6、配置电器控制系统一套，为系统各部分供电。
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