产品描述
参数
1、芯轴微球干燥单元：
四个干燥室，304不锈钢材料，漏率小于1.0×10-7Pa.L/s。最高压力200kPa（绝压），真空度优于20Pa。
样品台分两种：一种是固定刚性机构样品台，共四套，竖直安装在样品室底部。另一种是无规运动样品台，干燥室四专用，一套。无规运动由旋转和敲击组成，转速可调，最快30rpm；敲击频率可调，最大为10次／min。
干燥室内均有一套加热保温系统，可使干燥室最高加热至90℃，控温精度1℃。
2、芯轴微球去除单元：
最高压力200kPa（绝压），最高真空度优于5×10-4Pa。
两个去除室，304不锈钢材料，漏率小于1.0×10-7Pa.L/s，立式圆筒形钟罩式结构，双层水冷设计。去除室可电动升降，配电动升降机构。
去除室内各设置样品台一套。石英样品托盘五套，直径约φ100mm，中间为多个凹槽设计，凹槽底部为圆弧形且内表面光滑。
去除室内均有加热组件一套，加热区高度不小于300mm。最高加热温度：400℃；定点300℃时，温度起伏不大于0.1℃；样品盘上下100 mm范围的空间实际温度偏差不超过1℃。
去除室气路系统各一套。进气气路配截止阀和质量流量控制器、压力传感器；出气气路配截止阀和质量流量控制计。去除室出气至全金属阀门位置设置加热结构，最高加热温度为 170℃，定值控温时温度偏差小于2℃。
配置图像采集单元一套，包括CCD、镜头和显示单元，用于PAMS微球干燥及去除实验前后图像观察与采集。
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