玻壳镀膜装置
所属分类
蒸发镀膜系统
产品描述
参数
一、设备用途：
对光电倍增管（20英寸管壳）内表面上半球进行镀锰膜。
一次真空可蒸镀两个玻壳；
具体工艺流程和实验由用户根据工艺来进行调整。
二、主要技术指标：
1、真空获得系统：采用无油真空系统，分子泵+干泵抽气系统；
1.1、系统极限真空度优于2×10-5Pa；
1.2、工作真空度优于8×10-4Pa，设备达到工作状态后玻壳内真空度始终高于8×10-4Pa（镀膜时除外）；
1.3、设备真空系统开启后20分钟内真空度优于5×10-3Pa（包含分子泵启动时间，在分子泵已启动情况下需小于15分钟）；
1.4、 系统漏率≤6.7×10-7PaL/s；
2、进气系统：
2.1、2个手动放气阀，用于充入空气或者空气放气（如氮气放气等）；
2.2、2个手动微进气阀，保证可以通入微量气体。
3、真空测量系统：
放置在抽气管道上，用于检测真空度；
3.1、数字显示，实时监测；
3.2、真空计测量范围为；5×105Pa～10-6Pa；
4、蒸发系统：
4.1、蒸发电极尺寸满足玻壳需要，保证镀膜均匀性；
4.2、蒸发电极可保证蒸镀绝大多数金属材料，蒸发电极温度可达到1500℃；
4.3、蒸发电极位置可以调整；
4.4、蒸发源位置高度为玻壳赤道下方100mm处。
5、电控系统：通过电控柜面板手动操作；实时控制，操作方便。
6、机架：机架要求稳定可靠，符合人体工程学设计，方便产品的安装和卸载。
7、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
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ZF-1000蒸发镀膜机
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