单室电子束蒸发系统
所属分类
蒸发镀膜系统
产品描述
参数
单室电子束蒸发系统技术协议
一、设备目的：
设备用于制备高纯度、高精度半导体薄膜，导电薄膜、铁电薄膜及光学薄膜等。
二、技术要求：
1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为Φ400*820mm（以实际设计为准），不锈钢材料，圆柱形结构，真空室上铰链方门结构，真空室带有水冷。
2、抽气系统：采用分子泵+干泵抽气系统。（甲方自备）
2.1、真空度：镀膜室的极限真空≤6.7×10-5Pa；达到工作压强时间：从一个大气压（充入干燥氮气，不打开真空室）至6.7×10-4Pa≤90min；
2.2、系统漏率≤6.7×10-7Pa·L/s；
2.3、真空室带有旁抽功能；
3、电子枪系统：
坩埚及转位四穴、环形；功率10Kw；270°；XY扫描；10ml；水冷；电子蒸发速率可控；
4、样品架系统：
4.1、样品架可放置3英寸的样品；
4.2、样品架可旋转，旋转速度为：1～50转/分可调；
4.3、样品可加热，加热温度为：室温～600℃可控；
4.4、样品台可上下移动，与电子枪坩埚距离200-300mm与350-450之间可调；
4.5、样品与水平方向成30度角，样品调整结构为竖直方向；
4.6、安装：样品安装在真空室的上盖上，蒸发源安装在真空室的下盖上，向上蒸发镀膜。
5、设备带有进口英富康高精度单探头膜厚测试仪安装接口CF35，带气动挡板。
6、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
7. 实验室应配有冷却循环水机，为真空泵、真空室、膜厚测试仪冷却。
扫二维码用手机看
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
总经理电话：13804984297/024-23758583-607
市 场 部（售后服务）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
024-23758583
在线留言 