多功能真空镀膜机
所属分类
蒸发镀膜系统
产品描述
参数
一、设备目的：制备有机发光膜。
二、技术要求：
1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为Φ400*450mm，不锈钢材料，圆柱形结构，真空室上铰链方门结构。
2、抽气系统：采用分子泵+机械泵抽气系统；
2.1、真空度：镀膜室的极限真空≤6×10-5Pa，工作压力≤2*10-3Pa；
2.2、系统漏率≤6.7×10-7PaL/s。
3、蒸发源系统：
3.1、蒸发源四个，钨舟或者钼舟（甲方自备）；蒸发电极五根；
3.2、蒸发电源由甲方自备（两台）；
3.3、挡板：蒸发源挡板采用电动磁力控制方式，采用开关控制开启；
3.4、安装：蒸发源安装在真空室的下底上，以一定角度正对上方中心样品。
4、样品架系统：
4.1、样品架可放置大小为100mm×100mm的样品，载玻片；
4.2、样品架可旋转，旋转速度为：0～30转/分；
4.3、样品可加热，加热温度为：500℃；
4.4、安装：样品安装在真空室的上盖上，蒸发源安装在真空室的下盖上，向上蒸发镀膜，其中两个蒸发源带有挡板装置。
5、设备带有国产高精度单探头膜厚测试仪安装接口CF35。
6、样品根据镀膜工艺带有掩膜板，根据用户要求，乙方留有安装掩膜板位置，用户自制掩膜板。
7、设备带有样品传递功能。
8、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
9、实验室应配有冷却循环水机，为真空泵、电极、膜厚测试仪冷却。
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