产品描述
参数
技术要求：
1、镀膜室：镀膜腔室内尺寸约为800×1100mm，抛光不锈钢（牌号304）材料，圆柱形结构，真空室前方铰链方门结构，真空室带有水冷带冷却，设备总高约2755mm。
2、抽气系统：采用分子泵+干泵抽气系统；
2.1、真空度：镀膜室的极限真空度5×10~mbar；
2.2、工作真空度可达5×10*mbar，初始抽气时分子泵满转后，1小时内达到工作真空度（可烘烤）；连续工作过程中，利用旁抽系统，分子泵不停机的状态下，从1个大气压（真空室内充入干燥氮气）恢复至工作真空，常温下1小时，烘烤温度（300℃）下1.5小时；
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