PECVDⅠ系统
所属分类
PECVD
产品描述
参数
一、主要用途：
采用高频感应加热方法制备各种薄膜、纳米碳管。
二、技术指标：
1、极限真空：7*10-5Pa；
2、φ100*590（mm）立式石英管结构；
3、感应加热：射频：50±30KHz：加热2200℃/15分钟，最高加热2200℃；全固态高频感应电源，功率10～15千瓦；
4、气路系统：3路质量流量计控制，范围：一路0～3升/分钟，一路0～5升/分钟，一路0～200sccm。
三、系统组成：
系统主要由真空抽气及测量系统、测温系统、石英加热炉系统、感应加热系统、气路系统、电控及辅助系统等组成。
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