高温晶化炉真空抽气系统和收放卷系统
所属分类
CVD
产品描述
参数
一、设备用途：
在低真空条件下，通过外加热方式对基带进行加热，并通入工艺气体，在基带收放过程中对基带表面进行镀膜。
二、技术指标：
1、整体结构：
采用直线排布结构，详细排布见下图。
设备两端分别为收、放卷室，收、放卷室之间通过反应室以及过渡段进行连接，收卷室、放卷室各有一路独立的抽气支管道，反应室部分有八路抽气支管道，上述各抽气支管路并行连接到抽气主管路上，抽气主管路与真空机组相连；
收放卷室带有独立的台架支撑系统；
该合同负责的部分带有计算机控制系统，进行收放卷控制、压力控制、真空抽气控制、真空检测等。
2、抽气系统：
2.1、系统真空度能达到5Pa以下；
2.2、采用机械泵和罗茨泵抽气机组；
2.3、炉膛工作压力：50～400Pa可调；
2.4、采用大管径抽气管路对各个腔室进行抽真空，大管径抽气管路提供了大的流导，使管路长度等因素对抽速的影响大大降低，保证了抽气的均衡性。
3、基带收放系统：
3.1、卷对卷系统要张力稳定可控，可实现张力0.5Kg～1.5Kg间可控；
3.2、卷对卷要能保证稳定不跑偏，实现1000米顺利走带；
3.3、基带速度为：4米/小时～40米/小时，均匀可调。
4、真空抽气及测量、压力控制、收放卷系统采用计算机控制。
5、实验室自备冷却水系统。
三、设备实施方案以及组成：
高温炉真空抽气和收放卷系统主要由收放卷室系统、真空获取系统、基带收放系统、控制系统、辅助系统等组成。
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