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自加热超导薄膜系统

所属分类

CVD

自加热超导薄膜系统一、设备用途：在低真空条件下，通过自加热方式对基带进行加热，并通入工艺气体，在基带收放过程中对基带表面进行镀膜。二、技术指标：1、整体结构：采用直线排布结构，详细排布见下图。设备两端分别为两个辅助加热室（反应室一、反应室八），收放卷之间通过八个独立的工艺反应室进行连接，每个真空室有独立的抽气管道；在反应室一、反应室八中各有两个加热电极轮，两个电极轮呈上下排布，上

产品描述

参数

自加热超导薄膜系统

一、设备用途：

在低真空条件下，通过自加热方式对基带进行加热，并通入工艺气体，在基带收放过程中对基带表面进行镀膜。

二、技术指标：

1、整体结构：

采用直线排布结构，详细排布见下图。

设备两端分别为两个辅助加热室（反应室一、反应室八），收放卷之间通过八个独立的工艺反应室进行连接，每个真空室有独立的抽气管道；

在反应室一、反应室八中各有两个加热电极轮，两个电极轮呈上下排布，上面的为主加热电极轮，下面的为辅助加热电极轮，反应室一、八中的主加热轮组件与基带以及电源系统构成主加热回路，反应室一中的主加热轮组件、辅助加热轮组件、基带以及辅助加热电源系统构成辅助加热回路，反应室八中的主加热轮组件、辅助加热轮组件、基带以及辅助加热电源系统构成辅助加热回路；

基带水平运动，反应室一与反应室二直接连接，反应室七与反应室八通过短波纹管连接；

气氛通过流量计分别进入八个反应室中，通过流量计对进入反应室的流量进行调节；

反应室和收放卷室带有独立的台架支撑系统；

设备带有计算机控制系统，进行收放卷控制、加热控制、压力控制等。

2、抽气系统：

2.1、系统真空度能达到1Pa以下；

2.2、采用直连式机械泵和罗茨泵抽气机组；

2.3、抽气能力要达到300L/S以上(以6米长炉子计)；

2.4、采用大管径抽气管路对各个腔室进行抽真空，大管径抽气管路提供了大的流导，使管路长度等因素对抽速的影响大大降低，保证了抽气的均衡性。

3、自加热系统：

主要由基带主加热系统和辅助加热系统组成：

3.1、基带主自加热温度>900℃；辅助加热系统温度为：室温～700℃。