超真空CVD系统
所属分类
CVD
产品描述
参数
一、主要用途：
用途保密。
二、技术指标：
1、极限真空度：≤2×10-5Pa；分子泵抽气机组；
2、石英管外径φ150mm，石英管长度 800 mm；石英管一个；
3、进气管路两套，一路从样品正上方倾斜喷淋，另一路从样品侧面水平喷淋；
4、石墨样品托一套，石英保温层一套；
5、线圈由甲方自备；
6、电控系统一套；
7、红外测温过渡室一套、取放样室一套。
三、系统组成：
该系统主要由真空抽气及测量系统、石英加热炉系统、压力控制系统、气体流量控制系统、感应加热及测温系统（用户自备）、电控系统及辅助系统组成。
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大尺寸高温化学气相沉积系统
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