LPP1等离子体聚合装置真空室
项目技术内容与服务范围
1、项目的组成：
（1）LPP1等离子体聚合装置真空室的设计、制造；
（2）LPP1等离子体聚合装置真空室的安装调试。
2、项目的技术要求和技术指标：
(1)真空室极限真空度优于5×10-5Pa；真空室漏率为：1×10-7PaL/s。
真空抽气机组、闸板阀、真空计、规由甲方自备。乙方为系统配备抽气截止阀及管道、手动角阀等。
(2)真空室为立式圆筒结构，尺寸为：Φ250×300mm；材料：不锈钢，壁厚δ=5mm。
真空室上主要有抽气接口（侧面，预留CF150）、连接法兰接口CF100、观察窗CF63、进样换样门（Dg150）、一个进气阀门接口、一只真空放气阀、高低真空规接口（CF35、CF16）等。
真空室上盖同真空室胶圈密封，上盖中心位置设置Φ120mm微波入射接口法兰一个。
真空室下底同真空室也是胶圈密封结构。下底中心位置设置一个Dg150法兰接口，为升降旋转样品架的安装接口。
(3)带可转动、升降和水冷的样品盘（金属钼材质，用于盛放微球样品），均匀区尺寸大于Φ60mm，电动升降范围15mm；
本套样品盘系统安装在真空室下底中心位置。
样品架通过电机+减速器+双轴空心磁流体的方式，实现样品的旋转，转速0～30转/分；
通过电机+减速器+升降螺杆、导杆+导套的方式，实现样品的上下调节，调节范围±50mm。
样品盘下有进、出冷却水管，可在实验过程中对样品盘持续冷却。
(4)微波源系统：甲方自备。
(5)电控系统：控制样品台的旋转。
(6)台架：设备台架一套，整体可升降移动。
整体结构由型钢焊接而成，台架和四周围板均焊后喷色塑处理，上面为亮面不锈钢罩板。
台架底部安装四套移动脚轮和四套支撑地脚，方便移动和上下升降调节。调节高度：±50mm。
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