沉积注入系统
所属分类
沉积注入设备
产品描述
参数
主要技术指标：
1.极限真空度：优于1.0×10-4Pa；
2.漏率：小于6.7×10-7Pa.L/S ；
3.从大气到1.0×10-3Pa时间优于25分钟（从开启机械泵算）；
4.共三套样品架：分别为柱状样品架、盘状样品架和球状样品架；
5.样品具有自转和公转功能，通过双芯磁流体进行传动和密封；
6.要求每个样品相MEVVA源和脉冲磁过滤等离子源都有定位和转动功能；
7.要求样品架与地绝缘，耐压值≥1KV；
8.样品需要加热，温度为：室温—400℃，温度可调可控；
9.设计系统具有断水报警，切断相应电源功能。
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