KS -1000 真空扩散焊接系统
一、设备主要用途：
用于大焊接面金属之间的低温钎焊（室温～500℃），用于高温银铜焊料的器件焊接（接近1000℃）。
二、设备特点：
采用电阻加热程序控温方式，保证了均温区的温度的均匀性和可控性。
加热模块由石墨加热体构成，加热模块除设备自带的鼠笼式石墨加热体，整个加热模块可以方便拆装，更换方便。
压头采用液压方式，无震动无噪声，运行平稳，不会对样品造成任何影响。压头位移可测。该设备，在真空系统暴漏大气、停水、停电、过压都有安全保护措施，不会出现危险情况。
三、主要技术指标：
1. 极限真空度：优于1×10-4Pa；
2. 真空室总漏率：小于5×10-8mbar·L/s；恢复真空度在分子泵正常启动后半小时内低于1×10-3Pa；
3. 压力范围：压力范围为0~50kN，连续可调，不得分段；
4. 压力控制：范围0~50kN，压力控制精度优于50kN的±0.5%，压力增加时过冲量不得超过50kN的1%。在压力保持阶段，在达到稳定值前，其精度优于50kN的±1%，达到稳定值后，其精度优于最大值的±0.5%；
5. 压头位置：下压头位置可以实时监测。位置控制精度优于0.001mm，显示分辨率0.001mm；
6. 工件尺寸：150mm(L)Х50mm(W)Х30mm(H)，两块在高度方向重跌焊在一起；
7. 加热系统：采用鼠笼式加热器石墨加热方式，四层屏蔽结构，加热速度均匀，控温精确，保温效果好；
8. 加温范围：室温～1000℃；重复性控温精度在升温结束时要求优于设置值的1%；在保温区前5分钟内要求优于±3℃；在保温区5分钟后要求优于±1℃；
9. 氮气浮子流量计：测量范围为0～6m3/h，精度为1L/min；氢气浮子流量计的测量范围为0～3m3/h，精度为0.5L/min；氮气管路充气速度要求在3min内充气使真空室由真空至一个大气压；氢气管路充气速度要求在3min内充气使真空室由真空至0.5大气压；质量流量计的测量范围为0～200sccm，测量精度优于±1%；
10. 计算机系统：实现真空获得与测量、温度控制和压头压力控制及相应数据的采集与控制各个控制测量单元等。
四、设备组成：
本装置主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、压力及升降系统、充气系统、计算机控制系统、辅助支架系统等组成。
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