氖气退火炉
所属分类
真空退火炉
产品描述
参数
主要技术指标：
1.设备结构形式：采用立式钟罩升降机构、不锈钢材料，双层水冷真空炉体、带有观察窗；
2.系统空载极限真空度：≤5.0×10-5Pa （冷态）；
3.工作真空度：≤1.0×10-4Pa （600℃）；
4.最高加热温度：800℃，温度均匀性±5℃（200℃～800℃），控温精度：±1℃；
5.炉膛有效空间：≥φ300mm×400mm ；
6.加热结构：鼠笼式电阻加热器，三层屏蔽结构，高温合金工作托盘；
7.加热方式：三区加热、独立测温控温方式，PID智能温控仪程序控温；采用低电压大电流加热电源；
8.工艺气体：真空室炉体带有法兰借口（CF16）两个，一个用于工艺气体（氖气），一个用于解除真空（充干燥氮气）；
9.在抽气过程中，如系统突然暴露大气，应能处于保护状态，避免部件的损坏。停电、停水以及系统不能维持真空状态，设备带有保护装置，整个系统连锁保护‘
10.系统采用计算机控制方式，自带软件，可以设定并实时显示工艺过程中的温度、真空度等参数。工艺参数结果可以输出到Windows Office软件中。
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真空退火炉
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