TH- 1400 真空退火炉
所属分类
真空退火炉
产品描述
参数
一、用途:该设备用于器件真空除气、退火及钎焊。
二、技术指标:
1. 系统空载极限真空度≤2×10-4Pa,(冷态);工作真空度≤1×10-3Pa(1400℃,持续时间10小时以上)
2. 分子泵启动正常工作30分钟后,真空度进入10-2Pa;
3. 加热系统:最高加热温度:1500℃,工作使用温度:900℃~1400℃;温度均匀性±5℃,控温精度:±2℃;
4. 炉膛有效空间≥Ø300×600m;有效均温区≥Ø200×400mm;
5. 鼠笼式钼片加热器,五层屏蔽结构,钼工件托盘;
6. 料盘支架(载物台):在炉膛内,安装放置被处理样品的支撑托盘,采用钼工件料托架,尺寸为:120×L500(mm),厚度为10毫米,通过钼支撑杆固定在真空室内壁上;
7. 退火炉保温屏蔽组件:加热体外部为金属隔热套(屏蔽层),金属隔热套外部为多层金属隔热屏,共五层:靠近加热体屏蔽层采用金属钼(共2层),高温钼两层,一层普通钼,最外3层采
用不锈钢屏蔽层;在真空室两端(含前开门)各有一套多层金属隔热屏(也是五层,与圆周设置一样);
8. 额定加热总功率:最大60Kw;
9. 系统采用触摸屏+PLC控制方式,具备控制软件,可以设定并实时显示工艺过程中的温度、真空度等参数。
三、系统组成:
本设备主要由真空室系统、真空抽气及测量系统、加热及控温系统、电器控制系统、充气系统、辅助系统等几部分组成。
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