原位反射光谱研究系统
所属分类
分析测试设备
产品描述
参数
主要技术指标：
1、整体结构：
1.1、系统整体漏率：优于 1×10E-11Pa·m3/s；
1.2、样品传输采用手动磁力送样系统，实现样品在手套箱、溅射室、反应室之间传递；
2、手套箱系统：
2.1、单工位操作，带有一个进样过渡舱及一个出料接口；
2.2、手套箱可长期维持负压，手套箱内部气体压力维持负400Pa（以大气压为基准），压力偏差范围负200Pa～负600Pa；
3、溅射室系统：
3.1、极限真空度优于8.0×10E-6 Pa；系统漏率为：1×10E-11Pa·m3/s；
3.2、溅射室下方安装有四维运动样品台，实现样品的传递与交接；
4、反应室系统：
4.1、极限真空度优于8.0×10E-6 Pa；系统漏率为：1×10E-11Pa·m3/s；
4.2、反应室下方安装有五维运动样品台，实现样品的传递与交接；
4.3、样品加热温度：室温到600℃，程序控温，控温精度±0.5℃，加热器件耐氧化；
5、样品传递系统：
5.1、两套磁力交接杆，手套箱与溅射室间样品传递，溅射室与反应室间样品传递；
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