（十五）多通道软X光能谱仪的支撑与调节机构
1、 主要技术指标:
a) 谱仪支撑与调节机构数量为3套，机构包括连接组件、调节组件、滤片室、平面镜室、探测器安装组件、瞄准系统等。
b) 连接组件保证谱仪与安装法兰匹配；
c) 系统有15个通道，通道由准直孔1，准直孔2，限孔光阑（Φ5mm），滤片盒，平面镜与XRD组成，其中5个通道无平面镜，各部件在探测光路上的排布如图1所示，其中滤片，平面镜，XRD不属于支撑与调节机构部件；
d) 两准直孔之间距离大于150 mm，准直孔法兰有铅屏蔽，前准直孔位置加1千高斯的横向（与光轴垂直）磁场以偏转带电粒子；
e) 限孔光阑（Φ5mm）距离靶点与XRD灵敏面的光程比不小于2：1，光阑架可以安装中性滤片；
f) X光滤片位于中性滤片与平面镜之间，由另外单独滤片架安装；
g) X光滤片与中性滤片的滤片盒尺寸（直径×厚度）：Φ28 mm×6 mm，滤片与限孔须与光路垂直；
h) 平面镜尺寸：200 mm×15 mm×12 mm，其中200 mm×15 mm为镜面（两边有200 mm长的1 mm倒角），平面镜与光路的夹角满足表3，平面镜角度偏差不大于±0.05°；
i) 各通道平面镜安装采用分体式定角度镜筒，安装尺寸与XRD相同为4-Φ5.5@Φ68.5±0.2；
j) XRD安装面与靶心距约为2600 mm，XRD外径为Φ77 mm，安装位置为4-Φ5.5@Φ68.5±0.2；
k) 调节组件具有指向与径向调节及锁定功能，可以保证滤片室、平面镜室、探测器安装组件与瞄准系统整体轴向±4 mm的平移调节与±1°的角度调节要求，角度调节精度要达到0.01°；
l) 无限孔时，靶点处发出的光可完全照亮XRD灵敏面（Φ10mm），有Φ5mm限孔时光斑须完全落在XRD灵敏面内，未经平面镜反射的光不得照射至XRD安装端面；
m) 靶点瞄准精度为±1mm，采用凸透镜成像方案瞄准，透镜与分划板均安装在谱仪可调节部分，透镜光轴与谱仪轴线重合，同轴度φ0.01mm，分划板中心在透镜光轴上，且垂直于透镜光轴，调节谱仪轴线过靶点，靶点的像呈现在分划板中心位置，即完成瞄准；
n) 谱仪真空优于3×10-3Pa（探测器位置处），漏率小于1×10-7PaL/s；
o) 谱仪重量轻，外形美观，经常装卸部件用螺钉型号一致。
2 重要技术指标检测与验收方法
a) 真空检测
通过真空检漏仪进行检测，要求真空好于3×10-3Pa（探测器位置处），漏率小于1×10-7PaL/s。
b) 准直精度检测
1)将安装有限孔的谱仪安放于一稳定的位置。
2)在距离谱仪安装法兰端面1350 mm处设置靶点，并以激光照亮。
3)调节谱仪，在分划板中心观测到靶点清晰的像。
4)利用分划板在XRD安装法兰处观察靶点的像，各通道成像中心均应分布在以分划板中心为圆心半径1 mm的圆内，否则为不合格。
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