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1032

微球释放气体测量系统

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产品描述
参数

主要技术性能指标:

1. 本系统真空管路部件材质均为316L;

2. 本系统真空获得系统为分子泵系统;真空测量采用数显真空计;

3. 系统真空度及漏率:①极限真空度6.6×10?Pa(冷态);②漏率≤10°Pa.L/s;1.4 在暴漏大气条件下,抽真空一个小时后,关闭所有阀门,静态真空在 5×10~Pa 保持5小时。

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