PQ –Ⅱ 单孔位波纹陶瓷管超高真空排气台
所属分类
真空排气台设备
产品描述
参数
一、主要用途：本设备主要用于波纹陶瓷结构射线管的排气。
二、技术指标：
1. 外真空室内尺寸：Φ500mm×592mm；
2. 极限真空度：
波纹陶瓷结构射线管内真空度：7.0×10-8Pa；
双层水冷可电动升降不锈钢钟罩式烘烤真空室（外真空）：5.0×10-3Pa；
3. 该系统采用双真空抽气方式，实现波纹陶瓷结构射线管内真空为超高真空，外真空为高真空及烘烤加热除气；
4. 外真空室采用双层水冷电动升降钟罩式结构，采用放气量小的不锈钢材料；
5. 波纹陶瓷结构射线管立式（阳极在上）置于外真空室内部，采用下支撑、下排气的支撑和抽气方式；
6. 管壳最高加热烘烤温度为650℃，控温精度±1℃，加热电源带有温控仪表，30段，程序控温；
7. 真空管的排气容积2000mL，轮廓尺寸Φ180×400mm；
8. 放气要有过滤装置，防止不洁气体污染真空系统。
三、系统组成：本装置主要由真空抽气及测量系统、抽气管道及烘烤系统、外真空室及升降系统、加热及控温系统、电器控制系统和辅助系统等组成。
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