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金属膜蒸发台
TA23-16D 水印

金属膜蒸发台

所属分类
热处理
TA23-16D 水印
产品描述
参数

真空获得、测量及微流量气体控制系统

1.极限真空度：工作腔体真空度不低于5.0×10-5Pa；

2.300℃状态下真空度优于5.0×10-3Pa；

3.真空抽气机组：采用前级泵+分子泵组成；

4.真空测量系统：采用电阻规、电离规、0.1Torr薄膜规等组成；

5.微流量气体控制系统：使用气体质量流量计，气体流量控制范围在10ml~100ml/min之间。

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