产品描述
参数
(一)设备用途：
该设备主要用于检测高温环境对质谱计探头的影响。
(二)技术指标：
1、真空室极限真空度≤5×10-4Pa；工作真空度≤1.0×10-3Pa；
静态压升率：0.10 Pa/h；系统漏率：5×10-7Pa·L/S；
真空机组采用国产分子泵+国产机械泵抽气系统。
2、采用卧式双层水冷真空室，左右两侧水冷法兰可移动，方便操作，不锈钢材料和真空材料，真空室与法兰进出水接口均为ZG1/2锥管螺纹。
2.1、真空室采用双层水冷结构，固定安装在支撑台架上；
2.2、左右两侧法兰采用双侧水冷结构，采用铰链手轮式密封结构；
2.3、采用外置直线导轨方式，作为左侧质谱计法兰和右侧电极法兰的平移支撑结构；
3、右侧电极水冷法兰上安装有三个铜电极板；
4、电极接口保证电流通畅；
5、铜电极板之间用不锈钢管替代钽管、不锈钢屏蔽板替代钽屏蔽板，并且需要与真空室上方质谱计接口对正；
6、需要做一套校正组件进行调试；
7、设备支撑台架采用碳钢型材焊接而成，支撑台架的台面采用碳钢板；
8、设备冷却水路需要试验水压力。
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