高真空管式氮化炉
高真空管式氮化炉
一、系统主要技术指标：
1、总体结构：采用卧式管式外加热炉结构，管式炉左端为抽气系统，右端为手套箱系统；整机安装在可移动台架上。
2、系统极限真空度：7×10-6Pa；工作真空度：5×10-5Pa，抽真空时间＜2h（分子泵满转开始计时）；系统漏率：1×10-7PaL/s。
3、抽气系统：
采用国产分子泵与机械泵组成抽气系统，配有国产阀门、管道、真空计等。
4、卧式管式真空室以及加热控温：采用管式外加热方式，管式真空室内经Φ250mm，加热部分长约550mm，加热温度范围：室温～450℃，样品表面温度250℃；均匀区：轴向长度250mm，控温精度为：±10℃。
5、工件系统：
5.1、样品台通过支架安装在真空室门上，工作时样品台位于均温区中心，样品为圆形薄片，厚度3mm，直径≤100mm；
5.2、样品与真空室绝缘，耐压能力高于3000V；
5.3、移动：真空室门手动开关，通过支架带动样品台进出真空室；
5.4、偏压通过电缆引入样品台底部，经过不锈钢电极接触样品下表面；
5.5、样品与样品台良好接触避免打火；
5.6、样品台及实验样品的加热通过炉壁传热来实现。样品台及样品的加热温度（加热炉加热时）范围在室温～250℃。
6、偏压电源：5KW，电压最大2kV，占空比10%-80%可调脉冲频率40~60kHz可调。具有过流、过热、缺水、打火保护及自动灭弧功能。
7、手套箱：
7.1、手套箱采用无额头二工位双面操作薄壁手套箱，左侧面设计真空室对接连接口，右侧带有样品进出接口法兰，上部带有排气口。（按照最终设计为准）；
7.2、手套箱总长1274mm，高729mm，宽700mm；
7.3、手套箱底部安装轨道与真空室门支架连接，实现真空室门的开关和样品台进出操作。
8、气路系统：工艺气体为N2、Ar；通过两路国产质量流量计控制进气。
9、系统配有冷却循环水装置。
10、系统具有断水断电联锁保护功能。
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