超高真空系统
所属分类
用户定制设备
产品描述
参数
一、技术指标
1、系统真空度：极限真空度≤2×10-8Pa，机械手磁力杆传动时真空度优于6×10-8Pa。
2、真空室：采用球型不锈钢结构，316L，内径尺寸为：Φ300mm。
3、系统漏率≤1×10-7Pa·L/S。
4、真空室：采用飞碟形（UFO）不锈钢结构，316L，外形尺寸为：Φ800×360mm。
5、真空室：采用球形不锈钢结构，316L，尺寸为：内径SΦ300mm。
6、气路系统：
6.1、气固室、低温红外室、ESEM有供气需求，需采用一套统一的配供气系统（可实现3种气体的配置），实现对各反应室供气，进气流量可实现0 ～50sccm。
6.2、与真空室连接的阀门均为VAT超高真空全金属手动角阀。
7、各子系统采用独立的真空抽气系统，互不干涉，独立的支撑台架，可随时移动分开。
二、设备组成
本系统为多室结构的超高真空系统，该设备主要由预制室系统、UFO真空室系统、气固反应室系统、样品传递与交接系统、CCD观察系统、气路系统、电控及计算机控制系统、辅助系统等组成。
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