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氖气退火炉

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产品描述
参数

技术指标:

1系统极限真空度 ≤5×10-5Pa(冷态)

2工作真空度 ≤5×10-4Pa(温度≥200℃)

3系统漏率 5×10-11Pa.m3/s

4最高加热温度 850℃

5升温速率 0.5~10℃/min可调可控

6降温速率 250℃以上0.5~5℃/min可调可控,250℃以下自然降温

7均温区范围 ≥φ1000mm×200mm

8温度均匀性 ≤±3℃(均温区范围内)

9控温精度 ≤±1℃(均温区范围内)

10真空室内径 ≥φ1300mm

11真空室有效高度 ≥300mm

12工件支撑盘尺寸 ≥Φ1000mm×10mm;(工件盘上方至真空室顶部的圆柱形区域内不能有任何障碍物。)

13钟罩降下后工件盘距真空室顶部高度 ≥300mm

14钟罩升起后工件盘上端距离钟罩下端高度 ≥300mm

15钟罩提升至最高位置时总高度 ≤2450mm

16台面高度 ≤1000mm

17抽速 真空室暴露大气后,抽至5×10-4Pa所需时间≤1h

18功耗 ≤45kW

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