一、系统用途：　　用途保密。 二、技术指标：　　1、 真空室采用立式圆筒结构，其直径为Φ250mm，高度250mm；　　2、 极限真空度：8×10-6Pa；　　3、 系统漏率不大于10-8Pa.L/S；　　4、 真空室烘烤温度为180℃；　　5、 真空测量19种接头。 三、系统组成：　　该系统主要由真空室主体组件、真空抽气及测量系统、台架系统、电控系统及辅助部件组成。 四、参考价格：18万元。